高精度第二代硅谐振压力传感器
高精度第二代硅谐振压力传感器
8000系列是采用世界前沿的TERPS技术而研发出的新产品。TERPS是沟槽刻蚀硅谐振压力传感器技术,和现有的压力测量技术相比,它可以提供更高等级的精度和稳定性。此外,TERS技术还将压力量程扩展到更高的范围,并通过引入真正的介质隔离结构很大程度地提高了传感器对恶劣环境的适用性。
除了拥有TERPS技术的先进性能和先进制造工艺外,8000系列产品还可以为用户提供各种规格的压力接口和电气连接,用户可根据其具体应用需求进行选择。
完美结合了TERPS先进技术以及高质量、高可靠性和高选型灵活型的8000系列传感器可为高精度、高稳定性的压力测量提供*的解决方案。
特点:
1、高精度,全补偿温度范围内±0.01%FS
2、高稳定性,±100ppm FS/年
3、宽温度范围,-40℃至125 ℃
4、介质隔离结构可选,尤其适用于苛刻环境
5、多种输出信号可选,RS232或RS485或频率(TTL)输出
6、多种压力接口和电气连接可选
测量指标
压力量程
1、8000系列
200KPa、700kpa、1.4mpa、2mpa、3.5mpa、7mpa绝压
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